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中束流离子注入机
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我们的 Purion M 离子注入机支持最广泛的中束流可用剂量，提供无与伦比的灵活性，以满足当今不断演变的注入需求。Purion M 的高能能力远超竞品注入机，是高等级晶圆厂或使用重气态元素的晶圆厂的理想之选。而且它比其他平台的能效高 20%，因而拥有成本在 ...
Varian VIISta 900 3D 系统是业内领先的中束流离子注入机旗舰产品，适用于 2xnm 以上先进结点的大规模量产。其束线架构专门采用了必要的角度精度和束形控制设计，以便在逻辑 finFET 和 3D 存储结构的各种应用中实现精确的掺杂物放置和最小的晶圆内与晶圆间变异性。这些功能还有利于 CMOS 图像传感器 ...
本文介绍了电科装备第四十八研究所研发团队如何从"差三代"到"全覆盖"的离子注入机科研攻关之路，突破了多项关键技术，实现了国产离子注入机28纳米工艺全覆盖。文章还展示了离子注入机的工艺原理、应用领域和市场前景，以及研发团队的创新理念和成就。
可用于中低剂量掺杂和精确角度与剂量控制的工艺步骤，如阈值电压调整注入，沟道阻隔注入、晕注入、袋注入等工艺。整机完全适应大生产制造，具备自优化及自适应控制功能。双边对称扫描方式，束流均匀性高。
根据离子束电流和束流能量范围的不同， 通常可以把离子注入机分为低能大束流离子注入机、中低束离子注入机和高能离子注入机。不同类型的离子注入机在工艺中的主要应用各有不同。 表1. 离子注入机分类. 以上是关于半导体制造设备系列(5)-离子注入机的 ...
中束流离子注入机：高端应用、工艺配套 同等质量、成本领先 本地服务、时间领先特种离子注入机： 材料改性 半导体器件制造 大功率器件制造大束流离子注入机：完成β机和商品机开发，在大生产线进行45-22nm工艺验证。 高能离子注入机： 技术创新 广泛合作 ...
Ai250系列是应用于6/8寸硅基工艺线的中束流离子注入机，能量范围是30-250kev（单价离子）。Ai250采用成熟的光路单元技术。光路 ...
产品有多种型号包括低能注入、中束流注入和高能注入，ibs更具有按照客户要求设计定制的能力。 二 、IMC 200离子注入机技术指标 应用：主要用于半导体微电子衬底材料掺杂，晶圆上注入B、P、As等元素，并且具备注入A1、H、N、He、Ar等其他元素功能。
完成28纳米中束流离子注入机工艺验证后，研发团队于2017年全面铺开大束流离子注入机研发。他们要在产品谱系上"多点开花"。 中束流与大束流离子注入机，分别应用在芯片制造的不同环节，适用于不同工艺需求。二者各有所长，缺一不可。
等离子 中束流离子注入机 产品介绍： 离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成，可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位，作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子，决定要注入离子的种类和束 ...